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激光探针台服务内容
1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线;5、干扰芯片测试;除了以上几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出 2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证