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什么是主动探针台
主动探针台是一种用于晶圆针测范畴的工艺试验仪器。从装片方式上区别,分为全主动和半主动两种。首要用于晶圆测验,晶圆尺寸:4,, 6, 8 ,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒 (25 或者 26 个片槽),接连的可编程双向加载,快速单片晶圆主动上下片,防晶圆穿插保护 XYZ- 精度:±3微米。
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