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探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测装备之一,其广泛应用于杂乱、高速器材的jing密电气丈量,旨在确保质量及可靠性,并减缩研制时间和器材制作工艺的成本。
探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测验环节,担任晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒顺次与探针触摸并逐一测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中,从单晶硅棒的制取到zui终器材制作的完成需经过杂乱的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,大大下降器材的制作成本。
半导体的测验环节,首要包含芯片规划中的规划验证、晶圆制作中的晶圆测验(CP测验)和封装完成后的制品测验(FT测验)。半导体测验设备首要包含测验机、探针台和分选机。在所有的测验环节中都会用到测验机,不同环节中测验机需要和分选机或探针台合作使用。
探针台是检测芯片的重要设备,在芯片的规划验证阶段,首要工作是检测芯片规划的功用是否能够到达芯片的技术指标,在检测过程中会对芯片样品逐一检查,只有经过规划验证的产品型号才会量产。晶圆测验一般在晶圆厂、封测厂或专门的测验代工厂进行,首要用到的设备为测验机和探针台。