探针台的保护保养

      探针台主要应用于半导体职业、光电职业、集成电路以及封装的测验。 广泛应用于复杂、高速器材的J密电气丈量的研发，旨在保证质量及可靠性，并减缩研发时间和器材制造工艺的本钱。
保护
探针测验台x-y作业台的分类
      纵观国内外的主动探针测验台在功能及组成上迥然不同，即主要由x-y向作业台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测验仪(TESTER)相连的通讯接口。但假如按其x-y作业台结构的不同可为两大类，即:以美国EG公司为代表的平面电机型x-y作业台(又名磁性气浮作业台)主动探针测验台和以日本及欧洲国家生产的选用J密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y作业台型主动探针测验台。因为x-y作业台的结构不同很大，所以其使用保护保养不可一概而论，应区别对待。
x-y作业台的保护与保养
      无论是全主动探针测验台仍是主动探针测验台，x-y向作业台都是其zui核心的部分。有数据表明探针测验台的毛病中有半数以上是x-y作业台的毛病，而作业台毛病有许多是对其保护保养不当或盲目调整形成的，所以对作业台的保护与保养就显得尤为重要。本文仅对主动探针测验台x-y作业台的保护与保养作一介绍。
2.1 平面电机x-y步进作业台的保护与保养
平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机比较其特殊性就是将定子打开，定子是根底渠道， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y作业台，因为动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。
而定子在加工进程中生产厂家根据不同的规划要求如分辨力等，用机加工的办法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的间隔即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制办法，按编制好的运转程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损害将直接影响作业台的步进精度及设备使用寿命，损坏严峻将形成设备无法使用而作废。
因为平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以湿润的环境及长时期保养不当将很容易使定子产生锈蚀现象，另外重物的磕碰及坚锐器物的划伤都将对定子形成损害，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的外表，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个进程操作要十分地仔细，不可使定子外表出现高低不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘整理作业，整理时应先通入大气以便动子移动，办法是用脱脂棉蘸少量大于95%的无水乙醇，轻擦定子外表，然后用专用工具撬起动子，办法同前， 轻擦动子外表，动子的外表有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，调查这此气孔的放气是否均匀，不然用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理完毕后应康复内嵌气孔螺母原始状况。需求特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，避免形成定子及动子的损害。平面电机应使用在环境温度15~25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气要通过枯燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0.4±0.04MPa。